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央視財(cái)經(jīng)《非凡十年看名企》專題報(bào)道二所第三代半導(dǎo)體發(fā)展成果
發(fā)布時(shí)間：
2022-09-21
概要：
9月19日，央視財(cái)經(jīng)頻道《經(jīng)濟(jì)信息聯(lián)播》《非凡十年看名企》欄目專題報(bào)道了2所在第三代半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域取得的重要突破。
第三代半導(dǎo)體碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中最為重要的一個(gè)環(huán)節(jié)就是碳化硅襯底材料的制備，這種材料需要在2500度以上的高溫以及真空環(huán)境中生長(zhǎng)，連續(xù)生長(zhǎng)時(shí)間往往要超過10天。由于晶體生長(zhǎng)工藝要求苛刻，整個(gè)生長(zhǎng)過程都像是在"開盲盒"，因此對(duì)碳化硅單晶生長(zhǎng)爐裝備提出了很高的要求。
十年前，2所就開始涉足第三代半導(dǎo)體碳化硅裝備的研發(fā)，近十年的時(shí)間，前后研發(fā)出碳化硅單晶生長(zhǎng)爐、碳化硅粉料合成爐、碳化硅晶體退火爐、籽晶粘接爐等碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中的多款核心裝備。
近年來，2所聚焦“大尺寸化、快速生產(chǎn)化、高良率化、全自動(dòng)化、低能耗化”目標(biāo)，攻關(guān)形成第三代半導(dǎo)體核心裝備研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化和整線解決方案，基于自主研發(fā)的全自動(dòng)碳化硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量碳化硅單晶生長(zhǎng)。
第三代半導(dǎo)體的窗口已經(jīng)打開，2所將繼續(xù)加大研發(fā)力度，以"智能制造"和"人工智能"技術(shù)為碳化硅裝備賦能，將"智能長(zhǎng)晶技術(shù)"應(yīng)用到碳化硅單晶生長(zhǎng)爐上面，讓原有的"開盲盒"過程變成"可視化"的生長(zhǎng)過程，努力把裝備做精做好，為第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展添磚加瓦！
來源/央視財(cái)經(jīng)
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