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二所首獲中國電科國家科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目立項(xiàng)

發(fā)布時(shí)間:

2022-12-16


概要:

  近日,由2所牽頭申報(bào)的“超薄界面異質(zhì)異構(gòu)晶圓鍵合關(guān)鍵技術(shù)與裝備”項(xiàng)目,獲得國家科技部“高性能制造技術(shù)與重大裝備”重點(diǎn)專項(xiàng)立項(xiàng)。這是中國電科2022年獲得的首個(gè)科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目,是2所在高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域繼續(xù)深耕的又一重要里程碑。 
  該項(xiàng)目針對(duì)通信、新能源等領(lǐng)域?qū)π乱淮雽?dǎo)體器件迫切需求,由2所作為牽頭單位,聯(lián)合多所國內(nèi)高校、研究所及專業(yè)公司協(xié)同攻關(guān),以國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心為紐帶,按照“鍵合機(jī)理研究、核心零部件研制、整機(jī)研發(fā)及器件應(yīng)用”四位一體研發(fā)思路推進(jìn)實(shí)施,將有效降低鍵合界面熱阻,提高互連鍵合精度,解決技術(shù)瓶頸,提升器件性能。

  “超薄界面異質(zhì)異構(gòu)晶圓鍵合關(guān)鍵技術(shù)與裝備”項(xiàng)目是2所在打造“國之重器——晶圓鍵合設(shè)備”的基礎(chǔ)上,在國家急迫需要的關(guān)鍵核心技術(shù)上全力攻堅(jiān),在事關(guān)發(fā)展全局和國家安全的基礎(chǔ)核心領(lǐng)域前瞻部署,在制約核心科技能力提升的基礎(chǔ)問題上奮勇攻關(guān)的又一重要節(jié)點(diǎn),項(xiàng)目不僅取得了中國電科2022年獲得的首個(gè)科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目的重要突破,也將為我國半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的快速發(fā)展提供有力支撐。

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